Клирики: протоиерей Сергий Вачугов, иерей Димитрий Власенко.
Начало строительства храма преподобной Марии Египетской в городе Вилейке было благословлено Высокопреосвященнейшим Иосифом (Семашко) митрополитом Виленским и Литовским. По распоряжению генерал-губернатора М.Н. Муравьева 6 мая (18 мая н.с.) 1864 года было заложено основание храма по проекту, который разработал гражданский инженер Виленской палаты государственных имуществ коллежский асессор Алексей Владимирович Полозов. Строительство храма осуществлялось на пожертвования дворянина, камер-юнкера Императорского Двора и действительного статского советника из города Санкт-Петербурга Аполлона Михайловича Редкина, пожертвовавшего сумму в 11500 рублей серебром. Окончены строительные работы по храму были летом 1865 года, а торжественное освящение храма было совершено 22 августа (4 сентября н.с.) 1865 года Преосвященным Александром (Добрыниным), епископом Ковенским. Первым настоятелем храма был назначен священник Илларион Выржиковский (почил 20 ноября 1893 года, погребен на городском кладбище г. Вилейки). Иконы для иконостаса написал Михаил Николаевич Васильев, профессор исторической живописи Санкт-Петербургской Академии художеств. На нужды Вилейской Свято-Мариинской церкви протоиереем Иоанном Сергиевым (праведным Иоанном Кронштадтским) было выслано 100 рублей.
В 1914 году и 1916 году с архипастырским визитом посещал храм архиепископ Виленский и Литовский Тихон (Белавин), будущий Патриарх Московский и всея Руси.
В 2015 году состоялось освящение Дома Духовного Просвещения.
Приход имеет часовню равноапостольного князя Владимира в д. Порса Вилеского района.