Клирики: протоиерей Сергий Вачугов, иерей Димитрий Власенко.
Храм построен в 1865 году по благословению митрополита Виленского и Литовского Иосифа (Семашко), при деятельной поддержке и участии Виленского генерал-губернатора Михаила Николаевича Муравьева и Вилейского предводителя дворянства, коллежского асессора Константина Михайловича Снитко, по проекту инженера Алексея Владимировича Полозова.
Строительство храма осуществлялось на пожертвования дворянина, камергера и действительного статского советника Аполлона Михайловича Редкина. Меценат жил в городе Санкт-Петербурге и пожертвовал 11500 рублей серебром, при этом пожелал назвать храм в честь преподобной Марии Египетской, величайшей подвижницы Православной Церкви.
Освящен храм 22 августа (4 сентября н.ст.) 1865 года Преосвященным Александром, епископом Ковенским. Первым настоятелем храма был назначен священник Илларион Выржиковский.
Иконы для иконостаса написал Михаил Николаевич Васильев, профессор исторической живописи Санкт-Петербургской академии художеств.
Приход имеет 2 часовни: на источнике хутор Доманово и в г. Вилейка.